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朗道燧岩 EUV 光源系统样机 2026 工博会首秀：国产化率达 90%，距量产仍需 3~5 年
来源: IT之家 · 发布于
<p data-vmark="d4b1">IT之家 10 月 14 日消息，2026 年第二十六届中国国际工业博览会正在国家会展中心（上海）举行，创新科技馆内百余项上海科创成果集中亮相。</p><p data-vmark="6d72">据解放日报，朗道燧岩首次在此次工博会上展示了一台极紫外（EUV）光源系统样机，这也是目前公开展示中国产进度最靠前的 EUV…
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