تقنية

日本半导体光刻设备制造商 Gigaphoton 推出 hTGM 新型氖气回收系统，号称回收率达 50%

المصدر: IT之家 · نُشر في 06‏/10‏/2026، 2:18 م

<p data-vmark="9199">IT之家 10 月 6 日消息，据科技媒体 Tom's Hardware 今天报道，日本半导体光刻设备制造商 Gigaphoton 现已推出新型氖气回收系统 hTGM，用于氟化氩（ArF）准分子激光器。</p><p style="text-align: center;" data-vmark="f108"><img…

نحن موقع تجميع أخبار: نعرض العنوان ومقتطفاً قصيراً مع رابط للمصدر الأصلي، ولا ننشر النص الكامل.

• #日本半导体光刻设备制造商
• #gigaphoton
• #vmark
• #htgm
• #data
• #现已推出新型氖气回收系统